在精密零件加工中，對強度和韌性的要求比較高，其工作性能和使用壽命與其表面性能密切相關。表面性能的提高不能單靠材料，也是非常不經濟的做法。但在實際加工中，其性能必須達標，此時就需要表面處理技術。
在模具表面處理領域，模具拋光技術是一個非常重要的環節，也是工件加工過程中的一個重要工序。精密零件加工表面處理技術在加工過程中非常重要。值得提醒的是，精密零件模具表面的拋光處理不僅受工藝流程和拋光設備的影響，還受零件材料鏡面度的影響。這一點在目前的機械加工中還沒有得到足夠的重視，這也說明拋光本身是受材料影響的。
雖然提高精密零件加工的技術在不斷創新和升級，但在精密零件的加工中主要采用的是硬化膜沉積、滲氮和滲碳技術。因為滲氮技術可以獲得高水平的表面性能，并且滲氮技術的工藝與精密零件中鋼的淬火工藝具有非常高的一致性。
滲氮溫度很低，所以滲氮后不需要劇烈的冷卻過程，所以精密零件的變形會很小。因此，滲氮技術是早期用于強化精密機械零件表面性能的技術之一，目前也得到廣泛應用。
